压电驱动纳米定位平台是指以压电陶瓷驱动器作为驱动元件,以柔性铰链机构为支撑导向的微位移运动平台,是实现动态纳米控制不可或缺的关键部分。在微操作器,磁盘驱动、原子力显微镜、扫描隧道显微镜、纳米压印、纳米操纵等领域有着广泛的应用。该平台由压电陶瓷驱动器、柔性铰链微位移机构、微位移测量传感器和控制系统组成。
压电驱动纳米定位平台是指以压电陶瓷驱动器作为驱动元件,以柔性铰链机构为支撑导向的微位移运动平台,是实现动态纳米控制不可或缺的关键部分。在微操作器,磁盘驱动、原子力显微镜、扫描隧道显微镜、纳米压印、纳米操纵等领域有着广泛的应用。该平台由压电陶瓷驱动器、柔性铰链微位移机构、微位移测量传感器和控制系统组成。
适用范围:激光卫星通信、激光雷达、超分辨率光学成像、光学测量、显微成像、半导体检测、表面检测、高密度存储